FEI香港有限公司北京代表处

FEI 公司的纳米技术工具，以聚焦离子束和电子束技术为特色，提供最高分辨率小于1 埃的3D 特征描述、分析及修改功能。公司在北美和欧洲拥有研究开发中心，在全球四十多个国家经营销售和提供维修服务。FEI 公司将纳米尺度呈献给研究人员和生产厂商，协助将本世纪一些最杰出的理念变成现实。更多的信息可在FEI 公司网页上找到：http://www.feicompany.com

FEI公司历史简介：

1949年
飞利浦电子光学发布了全球第一台商用透射电子显微镜

1958年
飞利浦电子光学突破10埃的透射电镜分辨率(EM200)

1971年
FEI成立，向用户提供高纯、单一取向晶体作为场发射研究的材料

1975年
飞利浦电子光学发布EM400透射电子显微镜，成为现代透射电镜发展的基础

1981年
FEI发明液体金属离子源（LMI），成为聚焦离子束（FIB）设备开发的基础

1982年
FEI第一只聚焦离子束镜筒交货

1983年
FEI交付第一个静电场聚焦电子镜筒
Micrion成立, 致力于开发掩膜修复用途的聚焦离子束系统

1985年
Micrion交付第一台聚焦离子束系统

1989年
FEI发布完整的FIB工作站

1990年
飞利浦电子光学发布PC控制的扫描电子显微镜XL系列，成为扫描电镜数字化的先驱

1990年
飞利浦第一台6“晶片样品台的扫描电镜发布

1993年
FEI和飞利浦电子光学联合发布“双束”（电子束＋离子束）工作站

1995年
FEI交付第100台聚焦离子束(FIB)系统

1996年
FEI交付第5000只液态金属离子源
Micrion发布其8000系列聚焦离子束系统, 用于IC掩膜修复

1996年
飞利浦电子光学收购美国ElectronScan公司及其”环境扫描(ESEM)”技术
飞利浦电子光学收购位于捷克布尔诺的Delmi公司

1997年
FEI和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务
交付第一台晶片工厂的在线双束系统

1998年
FEI发布全数字化、全一体化的透射电子显微镜Tecnai

1999年
新的FEI购并美国Micrion公司

2000年
发布第一台小样品台双束系统

2001年
交付第一台安装有单色器的透射电镜

2002年
FEI收购Atomika (SIMS二次离子质谱仪)

2002年
FEI发布Quanta系列扫描电子显微镜

2003年
FEI发布科学研究和工业分析用“双束”（电子束＋离子束）工作站Quanta 3D和Nova NanoLab

2003年
FEI收购Emispec (ESVision)

2004年
FEI使用安装有单色器和球差矫正器的200kV Tecnai场发射透射电子显微镜突破1埃分辨率极限

2005年
FEI发布全球第一台超高分辨率低真空场发射扫描电子显微镜Nova NanoSEM
FEI发布专门用于图像矫正的透射电镜Titan 80-300, 分辨率达到0.7埃