供应FT-CZ0618S 硅单晶炉(图)|上海汉虹精密机械有限公司|电子生产设备网

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供应FT-CZ0618S 硅单晶炉(图)

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产地:	上海上海	价格说明:	0

详细说明

FT-CZ0618S 硅单晶炉

产品性能及参数：
　　性能：
　　该设备主要用于采用CZ法拉制6英寸和8英寸的硅单晶棒
　　1）采用电脑控制系统和触摸式屏幕显示。
　　2）如果具有多台FT-CZ0618S型号的单晶炉，则该触摸式电脑中的软件可以相互之间复制。
　　3）拉晶全过程全部采用自动化控制。
　　4）单晶炉整机设置有可安装UPS的插口。
　　5）电源装置采用高精度CPU控制板进行独立控制。使之功耗小、省电；并设有LC装置，可以防止由于电流波动对电网的冲击，以及对周边设备的干扰。

　　参数

可拉制硅棒直径	6"、8"
多晶硅最大装料量	65kg-70kg
热场规格	18"
石英坩埚规格	18"
最大拉晶长度	1800mm
籽晶轴行程	3800mm
籽晶提升速度（低）	0.2--10.5mm/min
籽晶提升速度（高）	---800mm/min
籽晶旋转速度	2--40rpm
坩埚最大移动距离	250MM
坩埚升降速度（低）	0.04-0.62MM
坩埚升降速度（高）	165mm/min
坩埚轴最大承重	150 KG以下
坩埚转速	2-20rpm(转/分钟)
坩埚升降轴行程	350mm（行程向上：250mm，向下：100mm）

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