SPC-30

SPC-60

电源电压

380VAC

380VAC

电源频率

50Hz

50Hz

电源相数

3相

3相

变压器容量

160KVA

200KVA

加热器最大加热功率

120KW

150KW

加热器最高电压

70V

70V

最高加热温度

1600℃

1600℃

冷炉极限真空度

≤3 Pa

≤3 Pa

晶体直径

3～6″

6～8″

装料量

30Kg

60Kg

籽晶拉速范围

0.1-10mm/min

0.1- 10mm/min

籽晶快速

10-320mm/min

10～400mm/min

籽晶转速

1-50rpm

1～40 rpm

籽晶在炉内有效行程???

2300mm

＞2550mm

晶升升速时爬行量

≤0.01mm

籽晶轴摆动量引晶位置处

≤φ2mm

坩埚升速范围

0.02-2.5mm/min

0.02- 2.5mm/min

坩埚升快速

≥35mm/min

60 mm/min

坩埚转速范围

1-30rpm

1～30rpm

坩埚在炉内行程

360mm

<400mm

埚升爬行升速

≤0.006mm

坩埚轴圆跳动

≤0.08mm

最大冷却水压

0.3MPa

0.3MPa

主机外形尺寸：

2530×1703×5730mm

主机工作高度

4900mm

6000mm

主机重量

≈2500kg

≈4500 Kg