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供应MCZ-2800-96A型磁场砷化镓高压单晶炉(图)


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产地: 北京北京 价格说明: 0
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0000MCZ-2800-96A型磁场砷化镓高压单晶炉,是工业化生产GaAs单晶的主要设备。设备投料量为28Kg,最大可到50Kg,适于4″-6″GaAs单晶的生长,是新一代的高压单晶炉。 本单晶炉用于在高压环境下原位合成GaAs后,降至中压完成GaAs单晶的生长。

0000本合成炉炉室内腔尺寸优化设计为φ572×1200,最大工作压力为9.6Mpa,满足晶体生长需要。设备的主炉室采用0Cr18Ni9不锈钢,按高压容器严格设计、制造及检测。并可依据客户需求,配备0-2000高斯磁场强度可调的永磁场,达到等效微重力晶体生长能力。 设备配有进口精密重量传感器,采用进口研华586工控机和专门研制的计算机软件用于上称重法控制晶体等径生长。
* 主要技术参数 *

1.主炉室内腔尺寸:

标准型

φ572×1200(内腔可任选φ510-φ650)

2.最大工作压力:

 

9.6 MPa(94.74atm)

3.真空度:

 

≤3 Pa

4.坩埚直径:

 

10″或12″(φ254或φ305.8)

5.装料量:   28 Kg (Max 50Kg)

 

6.加热器功率:

下加热器功率

35 KVA(28KW)

主加热器功率

120 KVA(96KW)

后加热器功率

35 KVA(28KW)

7.磁场强度:

磁场强度连续可调

0-2000 Gs

8.称重传感器:

S型

25 Kg(最大50Kg)

9.坩埚杆运动参数:
有效行程 280
转速

0-50 rpm

拉速

0000.5-50 mm/h

10.提升杆运动参数:
0有效行程 875
0转速 000.-50 mm/min
0拉速 0000.5-50 mm/h

011.主机最大高度:

 

4355

 
 
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