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供应MCZ-2800-80B型合成炉

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MCZ-2800-80B型合成炉,用于GaAs材料的合成,最高工作压力为9.6MPa。该合成炉的炉室采用0Cr18Ni9不锈钢制造,用底加热器及主加热器二段式加热并形成合理的热场,同时采用进口研华586工控机对合成过程进行控制,本设备与MCZ-2800-20C型中压单晶生长炉配套使用,适宜工业化生产GaAs单晶。


* 主要技术参数 *

1.主炉室内腔尺寸:

 

φ572×1200

2.最大工作压力:

 

9.6 MPa(94.74atm)

3.真空度:

冷炉极限真空度

≤3 Pa

4.坩埚直径:

 

10″或12″(φ254或φ305.8)

5.装料量:   28 Kg (Max 50Kg)

 

6.加热

加热方式

二段式石墨电阻加热

0000下加热器

0000120 KVA(96KW)

0000主加热器

000035 KVA(28KW)

9.坩埚杆运动参数:
有效行程 270
0000转速

0-50 rpm

0000拉速

0000.5-50 mm/h

00000快速 000手动
10.水冷系统 工作压力 000.-50 mm/min
  0000 流量 000 000.5-50 mm/h
11.主机:   物理尺寸

2423×1570×1790

0000占地面积 0000约2423×3000
0000高度 00004355
0000重量 0000约2500 Kg

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