供应P500-ZL-F晶体生长炉 (图)|西安百瑞科技发展有限责任公司|电子生产设备网

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供应P500-ZL-F晶体生长炉 (图)

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发布时间:		产品规格:
有效期:		产品数量:
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产地:	陕西西安	价格说明:	0

详细说明

用途：采用直拉法生长各种单晶体
　　特点：双层不锈钢水冷炉体结构；高真空、高温生长环境；中频电源加热。
　炉室容积(mm) 　　φ500×900
　籽晶杆行程(mm) 　　400
　籽晶杆拉速(mm/h)　　0.1～10
　籽晶杆转速(r/min) 　　1～50
　坩埚杆行程(mm)　　100
　坩埚杆最大承载(kg) 　　20
　熔料最高温度(℃)　　2200
　冷炉极限真空度(Pa)　　6.67×10-3
　充气压力(MPa)　　0.08
　冷却水压(MPa)　　0.13～0.18
　冷却水量(T/h)　　5
　电源电压(V)　　3φ380V±10%
　中频电源功率(kW)　　50
　中频电源频率(kHz)　　2.5或20
　主机外形尺寸(mm)　　800×1280×2600
　控制柜外形尺寸(mm)　　600×600×1600
　主机重量(kg)　　≤1500

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