供应微控推拉舟式扩散炉(图)|海迪克微电子科技有限公司|电子生产设备网

行业分站:

设为首页	免费注册	客客通	会员登录	企业建站	供应站	采购站
收藏本站	电子资讯	电子杂志	电子展会	电子博客	电子人才	电子论坛

供应微控推拉舟式扩散炉(图)

点此浏览大图

详细说明

【公司简介】

微控扩散炉：

根据用户要求可选用美国ICCI公司的控制系统或采用我公司的HDC6000或HDC8000系列控制系统（引进技术制造）。

HDC6000扩散炉控制系统可实现温度、推拉舟、气路的全自动控制，可适应于各种工艺类型。控制器独立工作，互不干扰。

HDC8000扩散炉控制系统，由一台工控计算机编程操作、独立控制、显示，使用SECSI/II标准，可实现工厂自动化管理，各炉管都有独立的温度、推拉舟、气路控制系统。

微控扩散炉的主要特点有：

●	推拉舟自动送料装置，在高温下承受重量大，这种非接触式的送料方式，可以减少取送硅片过程中微粒的产生，有力的提高了产品性能和合格率。
●	可以实现干氧氧化、湿氧氧化、氢氧合成氧化等各种工艺及管路配置。
●	如果配有自动温区测量热偶，仪表可进行恒温区自动调整。
●	根据用户要求可配备各种控制系统，可对温度、流量和各种开关量进行精确控制。
●	良好的人机界面，简单易用，操作方便，可以随时修改工艺和控制参数。高分辨率的液晶显示器可方便用户查看工作进度。
●	具有多种故障报警和应急措施，包括：超温、断偶、推拉舟极限、气路等，根据不同的故障采取不同的报警及应急措施，把故障造成的损失降到最小。
●	可自动控制多路电磁阀和质量流量计，满足各种工艺的要求。

点击小图
浏览图片

该公司共发布 5 条供应信息 升级为客客通全面展现您的产品

相关产品

快速发布

免责声明：以上信息由企业自行提供，该企业负责信息内容的真实性、准确性和合法性。电子生产设备网对此不承担任何保证责任。
友情提醒：为保障您的利益，建议优先选择客客通会员！