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供应微控推拉舟式扩散炉(图)

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产地:	山东青岛	价格说明:	0

详细说明

根据用户要求可选用美国ICCI公司的控制系统或采用我公司的HDC6000或HDC8000系列控制系统（引进技术制造）。
HDC6000扩散炉控制系统可实现温度、推拉舟、气路的全自动控制，可适应于各种工艺类型。控制器独立工作，互不干扰。
HDC8000扩散炉控制系统，由一台工控计算机编程操作、独立控制、显示，使用SECSI/II标准，可实现工厂自动化管理，各炉管都有独立的温度、推拉舟、气路控制系统。
微控扩散炉的主要特点有：
●推拉舟自动送料装置，在高温下承受重量大，这种非接触式的送料方式，可以减少取送硅片过程中微粒的产生，有力的提高了产品性能和合格率。
●可以实现干氧氧化、湿氧氧化、氢氧合成氧化等各种工艺及管路配置。
●如果配有自动温区测量热偶，仪表可进行恒温区自动调整。
●根据用户要求可配备各种控制系统，可对温度、流量和各种开关量进行精确控制。
●良好的人机界面，简单易用，操作方便，可以随时修改工艺和控制参数。高分辨率的液晶显示器可方便用户查看工作进度。
●具有多种故障报警和应急措施，包括：超温、断偶、推拉舟极限、气路等，根据不同的故障采取不同的报警及应急措施，把故障造成的损失降到最小。
●可自动控制多路电磁阀和质量流量计，满足各种工艺的要求。

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