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产品关键字: X 射线单晶定向仪

供应线切割专用定向粘接系统(图)

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发布时间:		产品规格:
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产地:	辽宁丹东	价格说明:

详细说明

线切割专用定向粘接系统
一、用途：
线切割专用定向粘接系统是为半导体行业线切割机的专用配套产品。由丹东辽东射线仪器有限公司独立研制生产，国内首创，用于线切割前对晶棒的定向和粘接，该系统适用于各种线切割上配套使用。
二、结构特征与工作原理：
整个系统由X射线定向单元、计算机单元和粘接单元组成。定向单元是由高压变压器产生的高压加到X射线管，X射线经过狭缝照射到样品表面上，在符合布拉格公式nλ=2dsinθ时产生衍射，衍射线由计数管接收，通过放大器将它的强度在微安表上显示出来。测角仪可记录到衍射峰位的角度值，输入到计算机后计算出晶棒的偏转角度α和β。根据所计算的α和β值，将晶棒在粘接台上用粘接剂粘接。
三、技术特性：
a) 主要性能：
该系统可对3～8英寸、最大长度700mm的晶棒进行定向和粘接。
b) 主要参数：
● X射线管：铜靶，强迫风冷● 样品旋转角度：-10～50°
● 管电压：30KVP，全压合闸● 计数管：盖革，工作电压500～1100V
● 管电流：0～5mA，连续可调● 时间常数：1、2档
● 整机耗电功率：小于0.5KW● 定位板旋转角（α）：±10°, 最小读数0.001°
● 灵敏度：优于0.01°● 晶棒旋转角（β）：±90°, 最小读数0.1°
● 最小角度读数：0.001°● 直径3～8英寸，长度700mm

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