技术参数

1.分辨率：
　高真空模式 3.0nm @ 30kV, 10nm @ 3kV
　低真空模式 3.0nm @ 30kV, 12nm @ 3kV
　环境真空模式 3.0nm @ 30kV
　背散射电子像 4.0nm @ 30kV
2.样品室压力最高达2600Pa
3.加速电压200V ～ 30kV，连续调节
4.样品台移动范围
　Quanta 200: X=Y=50mm
　Quanta 400: X=Y=100mm
　Quanta 600: X=Y=150mm

主要特点

1.FEI ESEM(环境扫描电镜)技术, 可在高真空、低真空和环境真空条件下对各种样品进行观察和分析。
2.所有真空条件下的二次电子、背散射电子观察和微观分析。
3.先进的系统结构平台，全数字化系统。
4.可同时安装能谱仪、波谱仪和EBSP系统。
5.可安装低温冷台、加热台、拉伸台等进行样品的动态观察和分析。

仪器介绍

Quanta系列扫描电子显微镜是FEI公司最新一代的通用型扫描电子显微镜，是飞利浦著名的XL系列产品的升级换代产品。
在研究开发和生产XL系列(1990~2001年)的基础上, 结合FEI/飞利浦最新研究成果和计算机、电气控制方面的最新技术, FEI/飞利浦新推出的Quanta系列扫描电子显微镜成为目前技术先进、操作方便、维护简单的扫描电镜产品。