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供应石英管清洗机(图)


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1.适用于2″—12″石英管清洗,同时也可以清洗其它可以放入清洗槽中石英槽、石英器皿等。
2.达到芯片生产线石英管洁净度,全自动汽缸式机械手
3.设备主要组成由机架(SUS)、清洗槽(PTFE)、整机包板(PVC)、药液供给、废液回收、空气净化、电气控制、机械传动等组成。
4.本设备 LCD触摸屏可视操作人机界面,便于操作,本设备除上料、下料需人工外,其它工序均可自动完成,适用于批量连续生产
5.设备设计为全封闭结构,并设有排气口。密封性能及抽风效果保证药液挥发的气体在使用和非使用情况下,不会大量泄漏,工作环境符合国家有关环保、人身安全等标准或要求。
6.清洗过程为全自动,并有自动/手动功能。
7.清洗时间应能自动控制,时间从0-59:59分钟可调,状态显示。
8.循环泵有自动/手动两种选择,自动条件下,清洗开始时,循环泵开启,清洗结束自动结束。循环系统进出口要配置压力显示仪表。
9.所有循环泵、风机、马达都标有旋转方向。
10.设备应有紧急和异常报警装置。
11.所有箱件、管道、过滤器外壳、泵体、阀门及工装均为PVC结构;
12.所有阀门上都标有常开、常闭的标识,所有管路上都标有液体流向的箭头;
13.用于清洗的机械手应满足以下要求:
14.主体材质为SUS,外为PTFE膜保护,室温长期工作下无损坏,不变形。
可抵强酸环境下的腐蚀。
尺寸应能与清洗槽相匹配,并能满足生产能力的要求,必要时可与订购方协商确定。
15.设备必须安装活动门,方便快速维修管道、过滤器、泵、等部件,保证生产需要。
16.控制程序设置密码锁定,以防无关人员无意中修改了设备参数值。
17.泵功率、槽体尺寸及整体设计方案均保证清洗效果、生产能力达到厂家要求。
18.保证设计方案有效,必要时可以取得股东及采购方的协助。
19.安全方面:空气测量计可保证工作环境的安全,如有异常可自动报警。
20.设备有良好的接地装置。
21.相应槽内有液位过低报警。
 
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