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分辨率为xy方向0.2微米有线性电机的半自动亚微米探针,软件设有图形界面和控制柄手动控制,使用TC1000-150控制器的TrioTech200毫米镀金加温卡盘,RCL2000冷却单元(温度范围-65至200摄氏度)Rf及照明防护。10级真空度及RF探针控制器,双重净化测量仪,Kinetic Systems 的隔离台,有Mitutoyo物镜和xy方向传送装置的SA-变焦显微镜,结露点数字传感和指示,110伏。
 
 
 
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