X轴

Y轴

驱动方式

伺服电机

驱动方式

步进电机

行程

370mm

行程

210mm

切割速度

0.1～400mm/s

分辨率

0.0002 mm

开槽宽度

刀厚+10μ

单步步进精度

0.003 mm

开槽深度

0～5 mm

累积步进精度

0.005/210 mm

步进设定范围

0.001～204 mm

Z轴

θ轴

驱动方式

步进电机

驱动方式

伺服电机

行程

30 mm

转角范围

0～360°

分辨率

0.001 mm

最小转角

3.6″

开槽深度

0～5 mm

转角精度

≤1′/90°

工件尺寸

2"～ 8"

冷却水

0.3MPa 2.5L/min

主轴转速

3000～ 40000rmp

定位系统

分离视场显微镜+CCD

主轴功率

500W ～1000W

排水口

30 mm

压缩空气

0.5MPa 300L/min

吸雾口

60 mm

外形尺寸(长× 宽× 高)

950×1000×1670