工作平台

　标准配置 450mm x 400mm

重复测量精度

　2μm

　(移动范围 300mm x 250mm)

扫描间距

　5μm/10μm/20μm

　大型工作平台可特殊定制

扫描速度

　Max. 9㎟/sec

自动平台

　Y轴可移动50mm

扫描范围

　5mm x 4mm (默认范围)

测量光源

　二级红色激光

　50mm x 50mm (最大范围)

照明光源

　LED灯

３Ｄ模式

　3D Open GL

测量模式

　手动高度测量模式

ＳＰＣ模式

　生产线资料　

　框选自动测量模式

　测量结果可分别独立分析

　框选普通测量模式

　X_Bar & R图分析

　

　直方图分析&Ca/Cp/CpK结果输出

测量结果输出

　平均高度/最高点

　可以自动补偿铜箔和绿油

　最低点/体积/印刷面积

其他功能

　编程模式/快速测量模式

视场

　4 × 3 ㎜

 

　测试点自动回起点

测量数据密度

　30万数据点/视场

操作系统

　Windows XP，Windows 2000

高度分辨率

　1μm

工作电源

　AC110V/60Hz或220V/50Hz

包装规格

　长560mm x宽460mm x高500mm

包装重量

　40 Kg