ZDT系列自动探针台是我公司研制、自主开发的半导体芯片中道测试的专用设备。其可靠性高，操作灵活方便。自八十年代初期投放市场以

来，深得用户满意。二十年来，我们一直在不断更新技术，调整产品方向，开发出多种不同规格型号的产品。另外可以根据用户的要求专门

设计特殊制作。

◇ 主要应用于生产过程中对集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的参数进行测试。

◇一个操纵开关控制承片台进行微动、分度、扫描等24种不同操作，并具有故障报警和自诊断功能。测试完毕承片台自动移到下料位置。

探针与芯片接触采用自适应控制，保持接触压力的恒定和可靠。采用μ补偿技术，保证探针与芯片之间误差不超过10μ。芯片可以采用公制

与英制尺寸。

◇ZDT-3/ZDT-5：

工件尺寸: 2"～ 6"
可测硅片:≤Φ152.4 mm
精度: ≤10μ/全程
步进设定范围: 0.001～99.999mm
最大速度: 200 mm/s
抬升时间: 10ms
可用探针数:可调探针21根、固定探卡
过激量设定:0～360
外形尺寸: 600×700×1100mm