供应GX系列自动探针测试台(图)|上海港旭微电子设备有限公司|电子生产设备网

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供应GX系列自动探针测试台(图)

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发布时间:		产品规格:	GX SG80系列自动探针测试台
有效期:		产品数量:	批量
浏览人数:		包装说明:	标准包装
产地:	上海上海	价格说明:	0

详细说明

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GX系列自动探针测试台（GX Automatic Prober）

型号主要技术指标	GX-80	GX-60
可测片径	8″,6″,5″,4″	6″,5″,4″,3″
工作台类型	伺服电机工作台	伺服电机工作台
工作台行程	350mm×250mm	290mm×200mm
工作台最大速度（X，Y向）	200mm/s	200mm/s
步进分辨率	0.0001mm	0.0001mm
定位精度	0.005mm/200mm	0.004mm/150mm
重复定位精度	±0.002mm/200mm	±0.002mm/150mm
承片台行程（Z向）	0.001～15mm可调	0.001～15mm可调
承片台分辨率（Z向）	0.001mm	0.001mm
承片台速度（Z向）	0.1ms/步	0.1ms/步
θ向调节范围	15°	15°

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